中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术

发布时间:2025-03-25 13:20:35 来源:互联网

本站 3 月 25 日消息,据国际光电工程学会(SPIE)消息,中国科学院(CAS)研究人员成功研发突破性的固态深紫外(DUV)激光,能发射 193 nm 的相干光(Coherent Light),该波长目前被用于半导体曝光技术。

论文介绍称,深紫外相干光,尤其是 193 nm 波长的光,已成为半导体光刻不可或缺的部分。研究人员提出了一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统,能够在 6 kHz 的重复频率下产生 193 nm 相干光。

将自制 Yb:YAG 晶体放大器中的 1030 nm 激光的一部分通过四次谐波产生,生成 258 nm 激光(1.2 W),其余部分用于泵浦一个光学参量放大器,产生 1553 nm 激光(700 mW)。这些光束在级联LiB3O5晶体中的频率混合产生平均功率为 70 mW、线宽小于 880 兆赫的 193 nm 激光。通过在频率混合前将螺旋相位板引入 1553 nm 光束,我们生成了一个携带轨道角动量的涡旋光束。

本站从论文获悉,这是首次从固态激光中产生 193 nm 涡旋光束的演示。这种光束对于种子混合 ArF 准分子激光器非常有价值,并在晶圆加工和缺陷检测中具有潜在的应用。

本站附论文链接:

https://www.spiedigitallibrary.org/journals/advanced-photonics-nexus/volume-4/issue-02/026011/Compact-narrow-linewidth-solid-state-193-nm-pulsed-laser-source/10.1117/1.APN.4.2.026011.full

本周热门攻略

1
《一家乱战2》免费高清在线体验:网友热议如何玩转这款无与伦比的战斗游戏!

《一家乱战2》免费高清在线体验:网友热议如何玩转这款无与伦比的战斗游戏!

2025/03/28

2
国服帝国神话是兄弟就一起:吃饭!睡觉!打群架!

国服帝国神话是兄弟就一起:吃饭!睡觉!打群架!

2025/04/14

3
科技昨夜今晨 0326:DeepSeek V3“小版本升级”;理想汽车重启销量周榜;消息称比亚迪汽车自研“端到端城区智驾”年内量产...

科技昨夜今晨 0326:DeepSeek V3“小版本升级”;理想汽车重启销量周榜;消息称比亚迪汽车自研“端到端城区智驾”年内量产...

2025/03/26

4
一杆长枪直入两扇门免费日剧:为什么这部剧让观众难以忘怀?

一杆长枪直入两扇门免费日剧:为什么这部剧让观众难以忘怀?

2025/03/28

5
本田全新纯电 SUV Honda 0 谍照曝光,还原 CES 2025 首发概念车独特外形

本田全新纯电 SUV Honda 0 谍照曝光,还原 CES 2025 首发概念车独特外形

2025/04/04

6
如何通过www.1688.gov.cn平台提升企业运营效率:全面解析与实用技巧

如何通过www.1688.gov.cn平台提升企业运营效率:全面解析与实用技巧

2025/03/27

7
蜀韵三国,乐游广元!三国杀OL x 广元文旅联动内容抢先看!

蜀韵三国,乐游广元!三国杀OL x 广元文旅联动内容抢先看!

2025/04/13

8
如何成为一个优秀的补课老师——从教学技巧到与学生的沟通方法

如何成为一个优秀的补课老师——从教学技巧到与学生的沟通方法

2025/03/28

9
玩家列数据称Switch 2处理器性能与PS5更接近:远超PS4

玩家列数据称Switch 2处理器性能与PS5更接近:远超PS4

2025/04/15

10
【燕云十六声】河西隐藏主线剧情,丢失的河西十一州舆图!

【燕云十六声】河西隐藏主线剧情,丢失的河西十一州舆图!

2025/04/17